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        潔凈室技術目前幾個熱點問題中的應用

        來源: 發布時間:2020-09-22 11:02:10 點擊數:
          潔凈室技術目前幾個熱點問題:應用程序,目前,幾。中   潔凈室的空氣流量/酸堿通風排氣凈化塔的數目,潔凈室總是設想被關注的話題,用干凈的房間沿管線(傳輸介質添加感染源和保留的后果最終過濾介質清除提高雜質效率的過濾裝置中),等。,相關標準,準則和其他建議或推薦的參考值是不是對保守的偏見,有很多探索; FFU在噪音的恐懼使用,損壞維修等問題已在實踐中處理,已經與FFU的FFU不考慮回風系統而提高也很受歡迎:感染的懸掛元件(AMC)持有微電子產業和集成電路產業已逐漸被提上日程,被保持關注。解決這些問題的解釋和分析以下情形。   二。氣流速度   2。對于使用的參考值的推薦或   清潔室內空氣速度必須清潔度確實固定,在潔凈室中詳細地使用的情況下等的,它不僅是灰塵容納室的量和過濾器(過濾裝置介質管道雜質清掃介質)功效進一步通過其余因素的影響,在影響氣流速度的選擇行業方面和潔凈室,潔凈度和因素是非常重要的:  ?。?)感染的室內源:構建體部件,工作人員的數量和操縱,工藝設備,工藝和材料的加工技術都灰塵顆粒釋放它們的源,所述情況而變化,根據特定變化很大;    (2)室內空氣流動模式和擴展:平均單向流請求,相同的流線,但會被擾亂的工藝設備布置和改變的情況下的渦流的狀態和工作人員的行動和其它部件; 而不是一個單向流動請求填充結構,以防止溫度分層的和死的;    (3)自清潔時間(恢復時間)夾持請求的:潔凈室或釋放到入射空氣流或傳染性城市間歇移動的對流和設備時形成的人或異常操作懸浮液劣化清潔度,純化恢復到原始的時間分辨率清潔度的氣體流速; 這取決于時間幀(清潔度惡化),對產品質量和對產品的生產速率的影響遭受抓握純化時間請求上;    (4)的端部的過濾器(過濾器介質除去裝置的雜質管線介質):在房間必須粉塵量可采取更高的效力過濾器(介質管道清除的過濾介質中的雜質設備),以降低空氣流速; 更高的節能效果筆劃考慮的過濾裝置的過濾介質中的雜質(凈化管道介質),而向下流動速度,或采用更低效力濾波器(濾波裝置介質管道雜質清掃介質),并采取高速氣流中,為了減少產品的流動阻力;  ?。?)經濟自由裁量權:過量空氣流速增加投資和運營成本的形成,相應的風速首先是一個全面的身份公平,往往不必太大,但也紛歧定的有用的結果;  ?。?)用于使用干凈臭氧消毒殺菌的低清潔度的房間的好處的請求   在室內通風散熱要求的決議有時數。   上述因素,很難量化,只能分析和控制措施。因此,在工程應用中,空氣流速和潔凈室經常參考相關標準,指南和其他引薦或參考值,然后評估詳細情況,在上述各因素的影響的判斷,以確定全面停止。    清潔的空氣速度為單向流動室; 一個干凈的房間通風頻率的非單向流是合適的,因為它是難以準確地測量氣體流量; 最終過濾器也是有效的(由特殊手段純化的流體凈化過程)覆蓋率的反應可以是在潔凈室的所有類型的氣流模式,覆蓋在0絕對流量為100%的個體。5米/秒(100fpm),在絕對0 25%。125米/秒(25fpm)?,F行標準,指引建議或參考值等的表1中所示。    注:1,ISO14644-4氣流速度/換氣次數被理解為參考材料,如在微電子和IC只實際車間表中列出; 藥物出僅用于階段氣流速度ISO5> 0.2米/秒,ISO6水平基準值到8中列出的獲取了。    2,(M)指的混合流,N是指非單向流; *是指感染源使用清潔區域有用的方法已被切斷。   表與所述通氣氣體流量和推薦或參考值的數目1,應當指出,反應了解到。ISO / DIS14664-4的價值提出了一種在晴朗和清潔腔有用的; IEST還建議值是唯一可行的手段,一些半導體工廠的聲望的。因為情況的變化更詳細地,一些經驗可以保持室內塵源的方法和的情況下的過濾器的情況下(過濾裝置管道介質清除介質中的雜質)的有效性已經不適合當前值。   2.2在若干當選或參考值   近年來,很多人認為,這些通過測試或參考值當選過于保守,這種觀點可以解釋為:  ?。?)清潔室內的空氣流速的橫向分散是非常低的在僅僅能夠單向流動的以合理的空氣流率0.05?0。1米/秒就足夠了采取傳染劑,在該流動的亞微米顆粒比對流功能低得多的分散功能; 和大于0。風速36米/秒,但易百萬旋渦,重新啟動傳染性病原體的參與。因此,幻想純化時間Tr =體積/流過的潔凈室的速率,在一定值,因為感染劑再次參與,然后增加氣體流速,實際Tr的實際上無明顯減少。  ?。?)端部的過濾器(在過濾介質單元管道介質除去雜質)影響清潔的有效性是值得關注從。一些空氣流量/空氣改變參考值或推薦的最終濾波器功效進行狀況(介質雜質的過濾裝置清除管道介質)通常不適合。當前HEPA / ULPA的從99的有效性。67%,99.99%99.999%,99.9995%以上,可達到八種選擇9。影響空氣流動速率的有效性已經被談論除了上述以外,以下方面也值得關注引起的,在非單向流動的情況下,因稀穩定式凈化室內的粉塵濃度,可以得出:  ?。ˋ)量更高集塵室的,最終的過濾器(介質管道除去雜質介質的過濾器裝置)在這樣的情況下被改變功效清潔度影響不大,因此,太過濾(通過一個特殊的流體凈化裝置的凈化處理)不是必需的療效。  ?。ㄒ遥┰谒鱿職んw的所述室中產生的粉塵量,在低流速,最終的過濾器(過濾裝置介質管道雜質清掃介質)被改變傳輸的有效性,在潔凈度增加的影響。   以上可以在圖1的情況下被調用。圖1A?圖1C看出。   映射的相關數據:   的新鮮空氣進氣過濾器的結束之前粉塵濃度(過濾裝置介質管道雜質清掃介質)1。75times; 106個/立方米   內部產生量:G1 = 350鍺/立方米。分   G2 = 3500的Ge /立方米。分   G3 = 35000個/立方米。分   G4 = 350000個/立方米。min   的新鮮空氣,以所有空氣度比0.03   這ISO5目前的水平IC有些工廠(0。三畝; 米)的潔凈室,采取FFU系統ULPA(99.9995%,0。12畝; 米),出口速度為0.38米/ s,這是25%覆蓋,因為許多室內均勻的氣體流速為0.095米/ s時,在相關的推薦限制值或參考。這個過程是一個干凈的處理室的清潔室的工作人員也少在微情況下,潔凈室,以產生低,低空氣流速采取這樣的情況下,期望的多個。   據介紹,目前的限IEST推薦用于凈化室內空氣流速值下降,如:    樂; ISO5階段:氣體流量0.2?0.5米/秒;    ISO6階段或五(非單向流); 換氣次數> 200 /小時;   ISO7等級:20倍至200倍的通風/小時;   ISO8階段:2倍到20倍的通風/小時;   三。采用FFU系統   3?,F狀1 FFU   FFU在應用和生活保障并沒有真正的恐懼證實。重要的是要改善目前是非常重要的:   使用的平均電流和減少的音調的措施(1),所述音調可以是50分貝內;    (2)電想法采取DC / EC(電子換向的電氣和機械的),以消耗比原來的開關功率節儉近50%,由于小風扇是一個小容量(功率<1 / 2HP)與個別都是電容性電開關分相或凸極,其效力是只有40%左右,DC / EC機電高達75?80%的效力; 在每個單獨的過濾器可用(在介質中的速度介質管道除去雜質把持的過濾裝置)占主導地位的降壓用節儉的能量消耗停止,但目前的投資仍然接受而不一般采用接管從長遠來看,各個組經常使用組所有的控制,或控制組。  ?。?)但是FF閥出口靜壓不能過大,采取個別出口風速0.38米/ s時,在在250Pa的個別情況下的靜壓。   3.2FFU回風系統和方法來比較其他國家的長處   3.2。1個個人評價   優點:  ?。?)流動性大,容易改革;  ?。?)構建體占據較少空間;  ?。?)清潔空氣腔室壓力大于返回空氣增壓室停止時,清洗和消除能夠感染的增壓室。   缺點:  ?。?)要求所有回風管阻力(包括多孔層,網格(一種粗塵土捕集預處理廢水處理設施)和管道),干表耐寒性和最終過濾器(傳輸介質管道阻力除去雜質在介質濾波設備)(在電阻的開始),總共165帕的應擺布抓握,當在在250Pa的令人滿意的最大阻力操作。因此干式冷卻器到一個大的傳熱面積,也返回到風通路的較大尺寸,多孔地板格柵組合阻力更小,從個人的做法:干抓握表面冷卻器擺布電阻50Pa的,回風管在15Pa的阻力,否則我們必須重新加入加壓風機系統,這是下降了FFU優勢的綜合體系。  ?。?)取DC / EC機電,風能單元可以單獨比當前離心式風扇的情況下(依賴于機械能輸入 - 增加在機械進料氣體平行的氣體壓力 - 這是一個從流體機械)集合系統是低,但研究指出,超過奪回改進大型軸流風機的風能系統仍然較高。性,因此需要注意大型軸流風機的效率和其身份的逐漸下降系統。  ?。?)個人FFU系統因為風能單元是大的,并且因此潔凈室的冷卻負荷也增加,響應于。   3.2。2在評價的情況下,詳細   當(1)FFU用于老古跡改造成潔凈室,其綜合經濟個體往往是可取。    (2)潔凈室清潔度嚴格要求,結束過濾器100覆蓋%(介質中的雜質的過濾裝置清除管道介質),采取大FFU系統,目前仍然是不經濟的; 故意對小細節的司法系統比較。    (3)較不嚴格的潔凈度的要求,最終的過濾器(介質管道除去雜質介質的過濾器裝置)的潔凈室勒覆蓋率; 后的整體的經濟系統經常大的差異的40%不久,但在工作場所遷移率FFU IC系統而言是顯性的,并且因此過濾器工廠電流IC(介質管道除去雜質介質的過濾器裝置)覆蓋率文件; 40%的FFU已被廣泛采用的系統。   四。感染懸掛元件(AMC)   4。分類和控股的情況下,要求1AMC    AMC作為一個地方工作,愛心IC稱號,首次提出在20年前由日本,近年來,IC生產盤直徑達披; 300毫米,加工工藝尺寸(寬度)小于0。15mu; 米,某些處理步驟和存儲步驟,并且在AMC盤的情況下,發送之間已經成為沖擊率制品的一個主要課題一直欣賞理解,因此,AMC需要實現由把持說話。   IC的制作時,AMC被分成A,B,C,d四類,即:   A--酸性物質,如HCl等;   B--基本材料,如NH 3等;   C--高于室溫的沸點可以在額定光材料被冷凝,主要是碳氫化合物,水蒸汽各具特色某些情況下還需要考慮;   D--摻雜材料,能量到標稱吸附光盤或具有標稱的另一種材料(吸引周圍的介質材料表面的現象的分子或離子)的反射,例如砷,硼,磷等。   AMC是在當前IC制造出潛伏感染要更為常見傳輸比的顆粒,顆粒大小,并確定傳染性把持的數目,抓AMC但是,除了減少寬度由外部改變了芯片,并通過該方法,工藝設備,工藝材料和花園晶片傳送系統,并且,更各種類型的過程數據的影響(化學品,特種氣體等。)為一個過程,在很多情況下元素的軌跡通常是下一個步驟主要傳染劑,而光盤的多個處理步驟目前超過300獨立步驟中,對于給定的AMC夾取目標的確實是復雜更糟。因此,IC生產AMC的控制,差異的產品,在技術,工藝和差異差異差異將處理該信息請求的差異。他們說,當前總各類感染性物質的要求在亞洲PPTM占主導?之間1000pptm。   4。實現主導局面2AMC   0線寬。25mu; 微米的集成電路的生產,特別是新鮮的空氣通常具有處置活性炭過濾器的設置(使用活性炭作為過濾裝置的填料); 步驟和相關的關鍵和存儲光盤,使用AMC控制一些生產廠,以及一些生產廠并沒有停止控股之間的轉移步驟,是很重要的一個權衡,方式和更多的抓地力的經濟后果請求報告是罕見的,秘密的,主要是因為該原因,但可以確定,只能停在某些情況下,控制。    納披; 300毫米光盤,<0.15mm寬近年來對AMC控制,重點在以下三個方面事情的發展處理請求:  ?。?)精確的測量技術和建立的測試方法的規模。由于這是把持AMC必要提前的基本控制;  ?。?)IC,生產線設備的請求采取微服務器箱子后點擊生產時,不同設備之間通過采取開放式花園規模片材盒(所述的FOUP)系統之前,止動盤服務器。因此,該設備已經,所述的FOUP微系統,其中所述請求不釋放和吸附信息,并使用(吸引材料表面分子或周圍介質現象離子)相關的感染因子的懸掛元件的問題和消除這種方式來停止事實上在不斷改善傳染性病原體的發展;  ?。?)把持AMC過濾器(過濾裝置介質管道雜質清掃介質)。   近年來特別是,近2 - 3年,用于抓握所述過濾器AMC(一種過濾裝置,以除去介質中的雜質的管道介質)和引入小開暫停;   A。AMC不釋放貨物HEPA / ULPA;   a。低硼細玻璃纖維過濾器(過濾裝置介質管道雜質清掃介質),IC現在是在亞洲和歐洲的工廠更多的應用;   b。多孔PTFE(ePTFE)制成的過濾器(過濾介質設備雜質管線清除介質),一個薄膜結構,價格超過十倍橫跨左右的比例。目前該應用一直沒有幾個,我們是開放的下一代。   B?;瘜W過濾器(介質管線清除過濾器裝置中的雜質)   現在,它已經推出了化學過濾器(過濾芯設備介質去除雜質管道介質)是非常重要的:   a?;钚蕴窟^濾器(活性炭過濾器裝置作為填料),它的形狀基本上晶粒,有一個盤型,蜂窩型等; 管也活性炭纖維過濾器(在培養基介質輸送除去雜質的過濾裝置),吸附的存在(吸引分子或周圍介質的離子的材料表面的現象)快的特點,價格還是比較高; 死,并且還具有一個過濾器的纖維粘合(轉印介質在管道的過濾裝置清除介質中的雜質)。   各種類型的浸漬顆粒的功效(如活性炭,活性鋁,它是活性炭重要)的無紡織物分解吸附B(抽吸周圍介質表面的現象分子或離子物種)供給AMC。    到目前為止,據報道,披; 300毫米盤除了兩個實驗生產線進行了處理,有四條生產線(德國,美國,臺灣二)開始運行,握AMC的情況,當然,未知的,但干凈的房間情況的6 ISO5?階段,潔凈室比預期的更簡化??梢钥闯?,當時的集成電路生產,感染控股必須集中生產形勢和園藝設備工藝用紙搬,R&d和生產存儲系統。
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